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半導(dǎo)體工業(yè)氣浮式隔振器結(jié)構(gòu)力學(xué)
半導(dǎo)體工業(yè)氣浮式隔振器具有測量、生產(chǎn)加工技術(shù)、材料與集成電路技術(shù)、電子器件技術(shù)、半導(dǎo)體工業(yè)氣浮式隔振器的使用越來越普遍。例如，承載所有暴露組件的光刻技術(shù)可測量框架...
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被動式空氣彈簧隔振器使用性能用途
被動式空氣彈簧隔振器主要分為以下幾類,其中最常見的就是橡膠空氣彈簧減震器，還有金屬空氣彈簧減震器。金屬空氣彈簧減震器目前已經(jīng)快要取代橡膠隔振 器，因?yàn)樗灰桌匣?使用...
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被動式空氣彈簧隔振器的靜態(tài)數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)振動
一般控制線性彈簧阻尼器減震設(shè)備的基礎(chǔ)沉降，其組裝基礎(chǔ)的沉降偏移量決定系統(tǒng)軟件的基頻，因此，被動式空氣彈簧隔振器的靜態(tài)基礎(chǔ)沉降與線性減振系統(tǒng)軟件的基頻偏移?？紤]到具...
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光學(xué)平臺氣動隔振器內(nèi)部結(jié)構(gòu)
光學(xué)平臺氣動隔振器內(nèi)部結(jié)構(gòu)在許多情況下對機(jī)器的減震效果十分明顯。無論是一些易碎的還是微妙的產(chǎn)品，都能通過氣浮膜式空氣彈簧有效地實(shí)現(xiàn)精細(xì)化生產(chǎn)，追求速度和效率。由于...
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光學(xué)平臺空氣隔振器彈性曲線
由于動能大，許多工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備在工作時會產(chǎn)生嚴(yán)重的振動。一般來說，這些設(shè)備本身會進(jìn)行一些減震處理，光學(xué)平臺空氣隔振器會安放在儀器的下方。但是，雖然彈簧可以減少振動，...
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半導(dǎo)體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺控制系統(tǒng)
半導(dǎo)體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺控制系統(tǒng),用于半導(dǎo)體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺,包括:至少三個高度閥,所述高度閥位于所述空氣彈簧隔振平臺下部充氣的氣路上,每個高度閥對應(yīng)設(shè)置在一...
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