半導體工業(yè)氣浮式隔振器具有測量、生產(chǎn)加工技術(shù)、材料與集成電路技術(shù)、電子器件技術(shù)、半導體工業(yè)氣浮式隔振器的使用越來越普遍。例如，承載所有暴露組件的光刻技術(shù)可測量框架的振動降低。危及減振特性的一個標準是減振設(shè)備的共振頻率和阻尼系數(shù)。在阻尼作用下，共同地震區(qū)的減振效果非常明顯，而共同地震區(qū)以外的情況正好相反。因此，為了保證其他阻尼系統(tǒng)軟件的阻尼特性，有必要根據(jù)實際情況設(shè)置系統(tǒng)軟件阻尼。目前，典型的半導體工業(yè)氣浮式隔振器采用固定節(jié)流閥填料和氣體節(jié)流閥減振。本產(chǎn)品減振調(diào)整結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難以保證。此外，在多個阻尼調(diào)節(jié)桿的操作過程中，無法保證每組徑向預(yù)埋孔的規(guī)格一致。

一種根據(jù)氣缸調(diào)節(jié)氣固兩相流減振耦合效果的半導體工業(yè)氣浮式彈簧減振器，其理論力學數(shù)字模型。彈簧減震器在外管內(nèi)設(shè)有連接管，彈簧風道總成在內(nèi)管上方兩側(cè)，外管通過上沖頭的密封與空氣彈簧風道的下部連接。內(nèi)缸按固定位置與上環(huán)形后蓋板和彈簧氣室密封連接。進氣口和排氣口設(shè)置在外缸的外內(nèi)壁上，一組環(huán)形布置的噴嘴設(shè)置在外缸的內(nèi)側(cè)，在外缸下方具有密封性。配置環(huán)形底板，液壓桿通過環(huán)形后蓋板裝入內(nèi)缸腔內(nèi)，傾斜鍍鋅鋼絲繩的頂端固定在環(huán)形后蓋板上，傾斜鍍鋅鋼絲繩的底端固定在頭部下方。液壓桿和傾斜鍍鋅鋼絲繩構(gòu)成單擺結(jié)構(gòu)。固定負載板固定在液壓桿上方。內(nèi)缸底端裝有鋼彈簧。柔性門鉸鏈的下部組裝在活塞桿上方，柔性門鉸鏈的頂部組裝在液壓桿下方。